奕葉探針臺(tái)EB系列

一、顯微鏡操控規(guī)格

l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍2"X2"，精度1μm。

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦，細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度10μm。

二、臺(tái)面規(guī)格

l 探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm。

l 探針臺(tái)臺(tái)面為固定臺(tái)面。

三、卡盤(pán)（載物臺(tái)，即圖中的chuck）規(guī)格

l 6" 卡盤(pán)，卡盤(pán)平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑 250μm-1mm（可根據(jù)客戶(hù)需求定制孔徑大?。】梢晕〕叽鐬?.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為6"X6"。

l 卡盤(pán)可360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕。

l 卡盤(pán)座有小搖桿，提起90度后，可以使卡盤(pán)快速線性上升4mm，在做wafer點(diǎn)測(cè)時(shí)方便快速移動(dòng)點(diǎn)測(cè)位置，同時(shí)做普通die或者decap后芯片點(diǎn)測(cè)時(shí)，方便快速更換樣品。

l 卡盤(pán)X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤(pán)做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為6"X6"，移動(dòng)精度為10μm，為方便點(diǎn)測(cè)的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能如果點(diǎn)測(cè)6"wafer的時(shí)候，可以6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測(cè)到。

四、性能

l 真空吸附卡盤(pán)：對(duì)應(yīng)可選4" 產(chǎn)品

l 卡盤(pán)X-Y方向線性移動(dòng)行程：6"-6"

l 線性無(wú)回差調(diào)節(jié)

l 卡盤(pán)上/下移動(dòng)行程：4mm

l 4", 6", 8", 12" 晶圓 (晶圓尺寸)

l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盤(pán)平整度: 10um

l 卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)角度：0~360°

五、附件

l 顯微鏡傾仰裝置

l 鍍金卡盤(pán)

l 射頻測(cè)試探頭/電纜

l 有源探頭

l 低電流/電容測(cè)試

l 高壓測(cè)試

l 激光修復(fù)

l CCD/數(shù)字相機(jī)，USB接口

l 探針卡/封裝/PCB板夾具

l 加熱裝置

l 防震桌

l 屏蔽箱