高低溫探針臺(tái)

     中國(guó)臺(tái)灣奕葉CG-196高低溫探針臺(tái)的探針座架設(shè)在真空腔體外側(cè)，在不破壞溫度及真空環(huán)境的情況下，隨著元件的冷縮熱膨，探針座可配合將探針做重復(fù)修改下針. 為消除來(lái)自于真空幫浦及地的震動(dòng)，內(nèi)置主動(dòng)氣浮式防震桌. 探針座少2 組多8 組，真空10exp-3  Torr 到10exp-6 Torr， 甚至提供腔體正壓到達(dá)10atm，超低溫達(dá)4度K  ，超高溫達(dá)1200°C，除了DC直流pA應(yīng)用之外，RF射頻也能勝任到40GHz.適合感知器，航太及軍事 精密產(chǎn)品電特性分析。

在真空環(huán)境下，探針臺(tái)有兩種應(yīng)用：

一、超低溫情況下：

由于晶圓在超低溫情況下進(jìn)行探測(cè)，水氣將會(huì)出現(xiàn)并且將會(huì)凍結(jié)晶圓。水氣將會(huì)影響測(cè)量，導(dǎo)致測(cè)量失敗。真空倉(cāng)中的水氣將通過(guò)真空泵排出，真空泵必須具備長(zhǎng)時(shí)間測(cè)量的要求。

二、高溫情況下：

       當(dāng)晶圓加熱超過(guò)300攝氏度， 400攝氏度， 500攝氏度或者更高溫度時(shí)，會(huì)發(fā)生很強(qiáng)烈的氧化。溫度越高，越加大硅片表面的氧化，氧化將使晶圓降低電學(xué)性，物理性和機(jī)械性。真空倉(cāng)中的氧氣通過(guò)真空泵來(lái)排出。真空泵必須能夠保持長(zhǎng)時(shí)間的測(cè)量要求。

由于卡盤(pán)將被熱量所控制，應(yīng)用于超低溫和高溫的環(huán)境，在晶圓上探針由于晶圓的收縮和膨脹，將需要一定的改變位置。因此，一些探針將需要通過(guò)真空倉(cāng)之外的探針座的三軸控制旋鈕重新定位。外部的機(jī)動(dòng)探針座可通過(guò)拉桿控制系統(tǒng)輕松地重新定位真空倉(cāng)中的探針。

三、特點(diǎn)：

• 三種溫度范圍可選擇：
  77K—480K  (-196℃—200℃)
  77K—780K  (-196℃—500℃)
  77K—1080K (-196℃—800℃)

• 所有框架采用焊接以堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)

• 通過(guò)外置探針座來(lái)控制探針重新定位

• 橋型結(jié)構(gòu)顯微鏡以方便打開(kāi)真空倉(cāng)

• 顯微鏡可通過(guò)鏡臺(tái)控制地移動(dòng)，X-Y軸移動(dòng)范圍 1英寸—1英寸

• 可升級(jí)到6個(gè)探針座
  

• 雙屏蔽chuck高低溫時(shí)達(dá)到10pA精度

• 可選擇防震桌

• 可選擇高真空倉(cāng)
  

四、規(guī)格：

l 卡盤(pán)直徑40mm

l 溫度的精度為0.1度

l 液氮瓶50升

l 探針座X-Y-Z三軸移動(dòng)范圍：25mmx25mmx25mm，精度10微米

l 顯微鏡X-Y軸移動(dòng)范圍：1英寸x1英寸

l 連續(xù)變焦：0.8X—5X 

l 目鏡：20X

l 總放大倍數(shù)：16X—100X

l 150W燈源箱

l 雙分支鵝頸管燈源

l 尺寸：1300mm長(zhǎng)x1100mm寬x1500mm高

 重量：300Kg

五、操作說(shuō)明：

l 溫度控制單元：

當(dāng)需要溫度達(dá)到室溫以下時(shí)，卡盤(pán)需要通過(guò)液氮來(lái)降溫以達(dá)到溫度低于事先設(shè)置的溫度。比例積分微（PID）分控制器可以的控制溫度來(lái)加熱卡盤(pán)中的熱敏器件。

l 液氮單元

氮?dú)馐潜仨?/span>有的，通過(guò)氮?dú)饧訅赫婵掌縼?lái)推動(dòng)液氮的流出，液氮的容量可以通過(guò)氮?dú)獾膲簭?qiáng)、液氮的進(jìn)氣閥和出氣閥來(lái)控制。

l 真空倉(cāng)單元

真空倉(cāng)可通過(guò)真空泵產(chǎn)生10-3 托的壓強(qiáng)提供給超低溫的應(yīng)用；

BNC母接頭用來(lái)連接探測(cè)設(shè)備的信號(hào)裝置；

真空泵可提供排氣過(guò)濾作用，以避免污染客戶(hù)的環(huán)境；

l 探針座單元

所有探針座都在真空倉(cāng)外設(shè)置，這將幫助工程師在真空組織下進(jìn)行探測(cè)時(shí)不用排出真空倉(cāng)內(nèi)的氣體。特別是，當(dāng)溫度降低的時(shí)候，晶圓開(kāi)始收縮，探針已經(jīng)離開(kāi)需要探測(cè)的測(cè)試樣品，工程師需要重新設(shè)置探針，將探針扎到測(cè)試樣品上。

l 顯微鏡單元：

顯微鏡可以通過(guò)橋梁結(jié)構(gòu)移動(dòng)到旁邊，以方便打開(kāi)真空倉(cāng)的蓋子。顯微鏡可以通過(guò)真空倉(cāng)上面得窗口觀察，

燈光可以通過(guò)階梯式旋鈕控制亮度，雙分支鵝頸式光纖引導(dǎo)源可以用于定位及分離目標(biāo)。