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奕葉探針臺(tái)BD系列

簡(jiǎn)要描述:中國(guó)臺(tái)灣奕葉EB系列探針臺(tái)高精度大旋鈕探針臺(tái),可兼顧直流和射頻應(yīng)用,針座平臺(tái)可上下升降,加裝探針卡使用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):BD-6
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2022-03-01
  • 訪  問(wèn)  量:1178

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
自動(dòng)化度全自動(dòng)產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子,交通鍍金真空吸附卡盤(pán)對(duì)應(yīng)可選6"產(chǎn)品

奕葉探針臺(tái)BD系列

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一、顯微鏡操控規(guī)格:

l 在探針臺(tái)右側(cè)有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測(cè)試時(shí)更換物鏡鏡頭。

l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍2"X2",精度1μm。

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動(dòng)精度1μm。


二、臺(tái)面規(guī)格:

l 探針臺(tái)臺(tái)面平整度:5μm

l 探針臺(tái)左側(cè)有搖杠可以控制臺(tái)面快速上下升降6mm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的重選擇

l 探針臺(tái)右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿,搖動(dòng)時(shí)可使臺(tái)面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的復(fù)位



三、卡盤(pán)(載物臺(tái),即圖中的chuck)規(guī)格:

l 6" 卡盤(pán),卡盤(pán)平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大小),小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為6"X6"

l 卡盤(pán)可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋

l 卡盤(pán)X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤(pán)做X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為6"X6",移動(dòng)精度為1μm,為方便點(diǎn)測(cè)的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測(cè)6"wafer的時(shí)候,可以6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測(cè)到


四、總體規(guī)格:

 重量:50kg(含顯微鏡)

尺寸:590mm寬*500mm長(zhǎng)*700mm高(含顯微鏡)

優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì),便于工程師長(zhǎng)時(shí)間舒適的操作


五、性能

l 鍍金真空吸附卡盤(pán): 對(duì)應(yīng)可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品

l 大旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)臺(tái),X-Y方向行程:6"-6"

l 卡盤(pán)快速拉出裝置便于放置/拿去樣品

l 線性無(wú)回差調(diào)節(jié)

l 臺(tái)面快速升/降行程:6mm,精調(diào)升/降行程:25mm

l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盤(pán)平整度: 10um

l 卡盤(pán)旋轉(zhuǎn)角度:0~360°

l Chuck Theta: ±15

l 大旋鈕滑臺(tái)X-Y方向精度: 1um

l 臺(tái)面上/下升降搖桿/旋鈕

l 顯微鏡傾仰裝置


六、附件

l 顯微鏡傾仰裝置

l 射頻測(cè)試探頭/電纜

l 有源探頭

l 低電流/電容測(cè)試

l 高壓測(cè)試

l 激光修復(fù)

l CCD/數(shù)字相機(jī),USB接口

l 探針卡/封裝/PCB板夾具

l 加熱裝置

l 防震桌

l 屏蔽箱

l 顯微鏡暗場(chǎng)/Normarski 檢測(cè)



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