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奕葉探針臺BD系列

簡要描述:中國臺灣奕葉EB系列探針臺高精度大旋鈕探針臺,可兼顧直流和射頻應(yīng)用,針座平臺可上下升降,加裝探針卡使用。

  • 產(chǎn)品型號:BD-8
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2022-03-01
  • 訪  問  量:1170

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間面議
自動化度全自動產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子鍍金真空吸附卡盤對應(yīng)可選8"產(chǎn)品

奕葉探針臺BD系列

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一、顯微鏡操控規(guī)格:


l 在探針臺右側(cè)有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測試時更換物鏡鏡頭。

l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動,移動范圍2"X2",精度1μm。

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度1μm。


二、臺面規(guī)格:


l 探針臺臺面平整度:5μm

l 探針臺左側(cè)有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重選擇

l 探針臺右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿,搖動時可使臺面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的復(fù)位



三、卡盤(載物臺,即圖中的chuck)規(guī)格:


l 6" 卡盤,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。?,小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為6"X6"

l 卡盤可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋

l 卡盤X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動,移動范圍為6"X6",移動精度為1μm,為方便點測的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能。如果點測6"wafer的時候,可以6"wafer的每一點都能夠點測到


四、總體規(guī)格:


 l 重量:50kg(含顯微鏡)

l 尺寸:590mm寬*500mm長*700mm高(含顯微鏡)

l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計,便于工程師長時間舒適的操作


五、性能


l 鍍金真空吸附卡盤: 對應(yīng)可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品

l 大旋鈕移動卡盤臺,X-Y方向行程:6"-6"

l 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品

l 線性無回差調(diào)節(jié)

l 臺面快速升/降行程:6mm,精調(diào)升/降行程:25mm

l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

l 卡盤平整度: 10um

l 卡盤旋轉(zhuǎn)角度:0~360°

l Chuck Theta: ±15

l 大旋鈕滑臺X-Y方向精度: 1um

l 臺面上/下升降搖桿/旋鈕

l 顯微鏡傾仰裝置


六、附件


l 顯微鏡傾仰裝置

l 射頻測試探頭/電纜

l 有源探頭

l 低電流/電容測試

l 高壓測試

l 激光修復(fù)

l CCD/數(shù)字相機,USB接口

l 探針卡/封裝/PCB板夾具

l 加熱裝置

l 防震桌

l 屏蔽箱

l 顯微鏡暗場/Normarski 檢測





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